NSR-SF140光刻机用紫外线灯NLi-7500AL2D

超高圧水銀Lampは均一・平行光源として豊富な実績のあるマルチライトシリーズの基本構成はそのままに波長230nm～450nmのDeepUV領域に適化した光源ユニットです。リソグラフィー用途はもちろん、表面改質光源、各種光化学反応評価光源としても応用頂けます。光源:250W 超高圧UVランプ,露光エリア:φ135mm,波長領域:230nm～450nm,初期照度:16mW/cm2以上,照度均一度:±5%以内,本体外形寸法(mm):224(W)×521(D)×417(H),電源外形寸法（mm):180(W)×300(D)×360(H).i线步进式光刻机NSR-2005i9用于半导体器件制造。使用ORC制作所高压汞灯，功率2KW，型号：NLi-2001A-1。NSR-SF140光刻机用紫外线灯NLi-7500AL2D

高压汞灯在工作时，灯球体内的汞蒸气压达100个保准大气压以上。汞蒸气压愈高，灯的亮度也越高，紫外线强度也越大，而且汞原子谱线宽度变大，分子连续谱与带电粒子复合光谱也更强，特别是595nm以上的红光辐射随灯内工作压强的升高而增强，从而使灯的显色性提高。为了克服由于电极处于极高温度造成钨材料蒸发并沉积在球壁上造成紫外线穿透率下降，光衰加速，从工艺设计上对灯内充入微量卤素，达到有效清洁泡壳的作用，进而可延长汞灯使用寿命。曝光机紫外线灯5KW电源i线步进式光刻机NSR-2205i12,用于半导体器件制造。使用ORC制作所高压汞灯，功率2KW，型号：NLi-2011AL。

实验室用小型UV紫外线照射设备

设备型号：HUV100;HUV300

用途：光阻材料固化，粘着剂固化，封装胶固化，油墨胶固化，框胶材料固化。

照射装置构成：由灯箱和电源构成，特长：操作简单，小型化，轻量化，可手持，节能

製品仕様：

使用UV汞灯作为光源，光源主要波长为365nm，照度为30mW/cm2.

照射面积：100×100mm/200×200ｍｍ/300×300ｍｍ

照度計使用敝司生产照度計UV-SN35，測量主波長365nm単位是mW/㎠

照射面积：300mm×300mm

照射距離可选择：100mm,200mm,300mm

照射物距离光源越远，测得照度值逐渐变低。

FX-51S/61SFX-801M2003FX-53S/63S2004Yokohama Plant Yokosuka Branch (now Yokosuka Plant) is built.2005FX-71S/81S2007Tochigi Nikon Precision Co., Ltd. is established.FX-803M/903N2008Sendai Nikon Precision Corporation is established.FX-75S/85S, FPD scanner for 7th and 8th generation plate sizes2009Mito Nikon Precision Corporation is merged with Tochigi Nikon Precision Co., Ltd.Sendai Nikon Precision Corporation is merged with Miyagi Nikon Precision Co., Ltd.FX-101S, FPD scanner for 10th generation super-large plate size2010Sales of FPD lithography systems in Chinese market start.2011FX-66SFX-76S/86S2012Yokosuka Plant is completed.FX-67S, FPD scanner achieving resolution of 2 µm2013Building 530 at Yokohama Plant is closed. Construction of Building 502 is completed.Nikon Precision Singapore Pte Ltd is merged with Nikon Singapore Pte. Ltd.FX-86SH2FX-86S22016FX-68S, FPD scanner achieving resolution of 1.5 µm2018FX-103SH/103S, FPD scanner for Generation 10.5 plate size2021FX-6AS, FPD scanner achieving the highest resolution of 1.2 µmi线步进式光刻机NSR2205i14E2,用于半导体器件制造。使用ORC高压汞灯，功率2.5KW，型号：NLi-2510AHL2。

UV硬化システムとは、塗料・接着剤・レジスト材等の樹脂へ、紫外線を照射し、瞬時に硬化・乾燥させる技術です。従来の熱乾燥などと比較すると、硬化・乾燥までにかかる時間が短縮でき、溶剤等の使用量も少量で済むため、使用シーンが広がっています。紫外線を照射し、UV硬化の実験及び少量生産ができます。コンパクトで設置場所を取らず実験室設備に適しています。灯具、電源を分離して軽量化を実現、室内移動が容易です。グリップを取り外せばラインに組み込み可能。i线步进式光刻机NSR-SF150用于半导体器件制造。使用ORC制作所，对应型号：NLi-7500AL2。紫外线灯AHD-200

i线步进式光刻机NSR-2005i11,用于半导体器件制造。使用ORC制作所高压汞灯，功率2KW，型号：NLi-2001AL。NSR-SF140光刻机用紫外线灯NLi-7500AL2D

ORC制作所生产超高压汞灯，英文：super high pressure mercury lamp，点灯时，汞蒸气压力为100～10000KPa，主要发射波长在365nm，395nm，405nm，436nm，累计光量可达数千kJ/mol(52.3kcal/mol)的汞蒸气弧光灯。短弧超高压汞灯是一种装有一对钍钨电极的球形石英玻壳放电灯。玻壳内充少量启动氩气和定量的汞,极间距离0.2～8mm,功率1,000～350,000W,工作时形成“电极稳定型”电弧, 一般采用垂直点灯,强制风冷。短弧超高压汞灯的有效寿命为750～3000h, 。 短弧超高压汞灯是辐射极强的长波紫外光源应用于集成电路光刻制版工艺。NSR-SF140光刻机用紫外线灯NLi-7500AL2D